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詳細介紹
| 面板TEG Prober | |||||
| 型號 | TEG prober-G6 | TEG prober-G8.5 | |||
| 外形 | 2850mm(寬)x2500mm(長)x2500 mm(高) | 4000mm(寬)x3500mm(長)x2500 mm(高) | |||
| 重量 | 約9700KG | 約14200KG | |||
| 電力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max | ||||
| 可測試液晶屏尺寸 | 長寬≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 長寬≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm | |||
| 平臺功能 | Gantry結(jié)構(gòu) | 龍門式，可以選擇雙龍門 | |||
| X-Y-Z軸運動行程 | 1850*1500 *58mm(X-Y-Z) | 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) | |||
| X-Y運動速度 | 0~600mm/s可調(diào) | 探針規(guī)格 | 針卡 | 兩套，可同時測試兩個patten | |
| X-Y精度(小移動量) | 0.1um | Pitch范圍：定制 | |||
| X-Y重復(fù)定位精度 | ±1um | 探針材質(zhì)：鎢or鈹銅等 | |||
| X-Y 軸驅(qū)動 | 直線電機+光柵尺 | 工作模式：可以單獨測試，或者兩個針卡一起測試。兩個針卡間的相互距離可調(diào)。 | |||
| Z 運動速度 | 0~10mm/s可調(diào) | ||||
| Z精度 | 0.25um | 探針和TEG對位方式 | 坐標定位 | ||
| Z重復(fù)定位精度 | ±1um | 測試過程中的二次視覺檢測 | |||
| Z軸驅(qū)動 | 伺服電機+光柵尺 | 探針和TEG的接觸方式 | 自動接觸 | ||
| Z軸保護 | 電機自鎖+機械限位保護 | 探針自動保護功能:edge sensor 和機械限位，可以根據(jù)panel厚度設(shè)定限位高度，點針的OD值可設(shè)。 | |||
| 樣品臺平整度 | ±50um平整度 | ||||
| 樣品臺涂層 | 防靜電涂層 | ||||
| 樣品臺高低溫 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) | ||||
| 光學(xué)特性 | 光路系統(tǒng)倍率： | 5X ,10X ,20X，50X Objects | 探針軸旋轉(zhuǎn)行程 | ±90° | |
| 放大倍率范圍50X~ 500X | 探針旋轉(zhuǎn)精度 | 0.01° | |||
| 聚焦 | 自動聚焦 | 旋轉(zhuǎn)重復(fù)定位精度 | 0.03° | ||
| CCD | 200/500萬像素工業(yè)相機 | 探針清潔 | 自動清針 | ||
| 光源 | 面背光、點背光、上光源 | 清潔后自動測針 | |||
| 光源亮度獨立可調(diào)，面背光可選擇分區(qū)控制 | 探針臺漏電精度（安裝針卡的情況） | 100fA 以內(nèi)（測試標準：給針卡任意針腳加壓—5V~+5V，在不吹N2的情況下，空載測試漏電流<100fA）吹氮氣N2輔助干燥(Recipe 可以設(shè)置是否開啟N2且N2測試報告體現(xiàn)開N2與不開N2區(qū)別) | |||
| 激光特性（選件） | 激光系統(tǒng) | 激光切割系統(tǒng)（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) | |||
| 0-99% | |||||
| 激光波長 | 1064nm，532nm，355nm | ||||
| 光斑尺度 | 1.0um @100X object | 測試能力 | 測試系統(tǒng) | 兩套 | |
| 2.0um @50X object | 半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng):2*HRSMU+4*MPSMU+CV 測試單元+高精度矩陣開關(guān)等 | ||||
| 工作模式 | One Shot/Burst/Continue | ||||
| 形狀 | 可調(diào)節(jié)的矩形 | TFT測試項目 | Ion | ||
| 控制 | 工作模式 | 自動測試，CIM通訊，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動導(dǎo)入和輸出 | Ioff | ||
| Vth | |||||
| 上下片 | 機械手或者流水線 | Mobility | |||
| CIM系統(tǒng) | 有 | Swing | |||
| 減震 | 被動式減震系統(tǒng)，能夠確保點針測試的穩(wěn)定性 | Resistance測試項目 | Rs | ||
| 工業(yè)PC | 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊 | Rc | |||
| (其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨立顯卡 | 輸送電壓 | ±200V | |||
| 通訊接口 | RS232/485/TCP/IPGPIB等 | 輸送電流 | ±1A | ||
| 安全 | 整機帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作 | 電流測試分辨率 | 1fA（無需前置放大器） | ||
| 緊急開關(guān)EMO | 電壓測試分辨率 | 0.5uV | |||
| 限位sensor，運動平臺和探針系統(tǒng)限位互鎖 | CV 測試頻率范圍 | 1kHz~5MHz | |||
| Interlock報警，自動關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選) | 接地單元電流宿能力 | 4.2A GNDU | |||
| 應(yīng)用方向 | OLED/TFT-LCD Panel TEG 電學(xué)測試 | ||||
| 特點： | |||||
| 業(yè)界快的測試速度 | 超高的測試精度 | ||||
| 穩(wěn)定的測試結(jié)果 | mult-probe card設(shè)計 | ||||
| 0.1um精度的直線電機平臺 | 自動清針，自動測針 | ||||
| 極小的針痕損傷 | 全自動測試 | ||||
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