AL120-12晶圓搬送機(jī)對應(yīng)可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)確保了操作人員在搬送晶圓時(shí)（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。 

人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作方便 
•可以自由設(shè)置的檢查模式，在設(shè)計(jì)上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設(shè)備的操作簡便性。 
•分別對應(yīng)FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機(jī)型。

堅(jiān)固、可靠和安全傳送 
•延續(xù)了上一代機(jī)型的堅(jiān)固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。 
•薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。 
•宏觀觀察位置的優(yōu)化和操作單元的集中排列，提高了設(shè)備的操作舒適性。 

專用宏觀照明裝置 

專用宏觀照明裝置