該系列傾角傳感器由我公司自行研制，用于測(cè)量單軸傾角的傳感器。它采用高精度MEMS芯片，儀器級(jí)精度，具有BIMOS信號(hào)限制電路。設(shè)計(jì)考慮多用戶的需求，制造采用表貼工藝技術(shù)。具有高可靠性和高封裝堅(jiān)固性，并具有自檢測(cè)（Self-Test）功能，可實(shí)現(xiàn)BIT（Built-In-Test）檢測(cè).具有數(shù)字和模擬兩種輸出形式。該產(chǎn)品隨溫度和時(shí)間的變化仍有的可靠性和穩(wěn)定性。此外，它還具有高分辨率、低噪聲、承受高過載的特點(diǎn)。

本產(chǎn)品可用于傾角測(cè)量?jī)x器、位置測(cè)量、加速度和運(yùn)動(dòng)測(cè)量、汽車測(cè)控、慣性導(dǎo)航、地震監(jiān)控等測(cè)量系統(tǒng)中。

該系列單軸傾角變送器是依據(jù)加速度傳感器傾斜后的角度與重力加速度成函數(shù)關(guān)系的原理來(lái)測(cè)量?jī)A角的。加速度傳感器是建造在硅晶片頂部的表面MEMS多硅結(jié)構(gòu)。多晶硅簧片懸浮在晶片表面的結(jié)構(gòu)，并提供一個(gè)克服加速度感應(yīng)力的阻力。用包含兩個(gè)獨(dú)立的固定板和一個(gè)與運(yùn)動(dòng)質(zhì)塊相連的板形成的差動(dòng)電容器機(jī)構(gòu)來(lái)測(cè)量比例于加速度的多硅結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)，從而產(chǎn)生電壓輸出信號(hào)。

1）供電

1.1 供電電壓（V.DC） +24

1.2 輸入電流(mA) <45

2）性能

2.1測(cè)量范圍(°) ±45

2.2零位(0g)偏置電壓(mA) 12±0.1

2.3偏置溫漂溫度系數(shù)(mg/℃) ±0.1

2.4 輸出靈敏度（mA／ｇ） 11.3137±1

2.5滿量程輸出電流Iout（mA） 4～20

2.6非線性度(%) ≤±0.5

2.8帶寬(HZ，-3 dB) 0～10

2.9輸出噪聲密度（μg/√Hz） 15

2.10長(zhǎng)期穩(wěn)定性（mg） 0.25

1）使用溫度(℃) -40～+125

2）儲(chǔ)存溫度(℃) -55～+125

3）耐加速度：

3.1任意軸,不供電(g) >10000

3.2任意軸,供電(g) >10000