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詳細介紹
技術規(guī)格:
| 功能配置 | 技術參數(shù) | |||
| 型 號 | VP-60L | VP-80L | VP-100L | VP-150L |
| 外型尺寸 (mm) | L=1200 W=920 H=1690 | |||
| 真空腔內尺寸 (mm) | L=403 W=400 H=403 | L=450 W=400 H=450 | L=470 W=460 H=470 | L=500 W=600 H=500 |
| 真空腔材質 | 不銹鋼 | |||
| 電極板尺寸 (mm) | 319（L）×374（W） | 320（L）×420（W） | 380（L）×440（W） | 520（L）×470（W） |
| 電極板材質 | 專用鋁電極 | |||
| 重 量 | 560KG | 580KG | 630KG | 680KG |
| 控 制 | PLC+ 觸摸屏 | |||
| 電極板結構 | 水平 8 層 | |||
| 真空泵系統(tǒng) | 兩級油旋片真空泵、羅茨真空泵組 | |||
| 真空測定系統(tǒng) | 皮拉尼電阻真空計 | |||
| 氣體測量系統(tǒng) | 高精密質量流量計 | |||
| 等離子發(fā)生器 | 高精密 0-500W 等離子發(fā)生器 | 高精密 0-1000W 等離子發(fā) 生器 | ||
| 等離子匹配器 | 高精密 0-500W 自動匹配器 | 高精密 0-1000W 自動匹配 器 | ||
| 工作真空度 | 10-100 Pa | |||
| 真空泵極限壓力 | 5×10-1 Pa | |||
| 抽真空時間 | ≤ 55S | ≤ 70S | ≤ 80S | ≤ 100S |
| 破真空時間 | ≤ 15S | ≤ 20S | ≤ 25S | ≤ 30S |
| 氣體控制范圍 | 質量流量 0-300SCCM （可自選） | 質量流量 0-500SCCM( 可 自選 ) | ||
| 射頻電源 | 0-500W（范圍內可調） | 0-1000W（范圍內可調） | ||
| 操作模式 | 人工取放，一鍵全自動操作 | |||
| 電 源 | 三相 380V | |||
| 總功率 | 4 KW | 4.5 KW | ||
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