MFM 系列熱式質(zhì)量流量計(jì)和MFC 系列熱式質(zhì)量流量控制器為多功能產(chǎn)品，該產(chǎn)品的設(shè)計(jì)易于使用，方便進(jìn)行流量檢測與控制。本類產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)工作壓力為500psig，標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定時(shí)采用空氣、氦氣、氫氣、二氧化碳，其他氣體標(biāo)定可按要求進(jìn)行。

所有流量計(jì)和控制器均由316L不銹鋼棒料制造，可用流量范圍從0-10sccm到0-20lpm，其精度可高達(dá)±1%滿刻度。并且每臺(tái)儀器都可提供可追溯的NIST標(biāo)定證書。電路設(shè)計(jì)可以抗高射頻干擾，且響應(yīng)速度很快，從而確保性能可靠和精度。

特點(diǎn)

• 全量程±1%精度
• 經(jīng)過驗(yàn)證的可靠性
• 量程–20,000 sccm
• NIST 可追溯校準(zhǔn)

應(yīng)用

• 泄漏測試
• 醫(yī)療研究
• 氣象淀積
• 研發(fā)和工藝流程
• 半導(dǎo)體制程
• 污染檢測
• 氣體混合
• 色譜分析

技術(shù)指標(biāo)