Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離90mm

金屬臺(tái)面尺寸

550mm*450mm

玻璃臺(tái)面尺寸

430mm*330mm

傳動(dòng)型式

傳動(dòng)型：X/Y/Z軸中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口精密線(xiàn)性導(dǎo)軌和中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口研磨級(jí)滾珠螺桿

測(cè)量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

三軸金屬貼片尺 分辨率：X/Y/Z軸0.0002mm（0.2um）

測(cè)量精度：≤3um+L/200 重復(fù)精度：≤3um

X/Y/Z三軸中國(guó)臺(tái)灣高性能閉環(huán)伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)：日本彩色 1/2″CCD 攝像機(jī)放大倍率30-230X

物鏡放大倍率：5X 10X 20X 50X(可按用戶(hù)要求配置)

目鏡筒

三目，目鏡：10X，總放大倍數(shù)50X-500X

照明系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長(zhǎng)、亮度可調(diào)