Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離90mm

金屬臺面尺寸

550mm*450mm

玻璃臺面尺寸

430mm*330mm

傳動型式

傳動型：X/Y/Z軸中國臺灣進(jìn)口精密線性導(dǎo)軌和中國臺灣進(jìn)口研磨級滾珠螺桿

測量伺服驅(qū)動系統(tǒng)

三軸金屬貼片尺 分辨率：X/Y/Z軸0.0002mm（0.2um）

測量精度：≤3um+L/200 重復(fù)精度：≤3um

X/Y/Z三軸中國臺灣高性能閉環(huán)伺服電機，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機：日本彩色 1/2″CCD 攝像機放大倍率30-230X

物鏡放大倍率：5X 10X 20X 50X(可按用戶要求配置)

目鏡筒

三目，目鏡：10X，總放大倍數(shù)50X-500X

照明系統(tǒng)

表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)