粗 動(dòng)

立桿調(diào)節(jié)80mm，調(diào)節(jié)范圍 30mm

微 動(dòng)

0.001mm/格

高（Z軸)測(cè)量

10～25mm（可選）

1mm最小讀數(shù)0.001mm（干分表讀數(shù)）

工作臺(tái)

尺 寸

工作臺(tái)160*160mm

左右（X軸）

移動(dòng)范圍50mm

前后（Y軸）

移動(dòng)范圍50mm

測(cè)量分度值

0.5um

玻璃工作臺(tái)

360°旋轉(zhuǎn)， 分度值1°

手輪

數(shù) 顯

XY數(shù)顯解析度0.001mm

普 通

手輪讀數(shù)0.01mm(定制0.005mm）

光學(xué)系統(tǒng)

目鏡

WF 10X/22mm

無窮遠(yuǎn)平場(chǎng)長(zhǎng)工作距離物鏡

PLL5X 工作距離:26.1mm

PLL10X 工作距離:20.2mm

PLL20X 工作距離：8.80 mm

PLL40X 工作距離:3.68mm

PLL60X 工作距離：3.18 mm (選購(gòu))

其它

濾色片

藍(lán)、綠、黃、磨砂

正交偏光

透反射機(jī)型中配有

照明系統(tǒng)

光源

透射照明

LED光源 藍(lán)、綠濾色片

反射照明

12V50W 鹵素燈

電　　　源

AC 220V±10% 50/60HZ