GF125 系列金屬密封熱質(zhì)量流量控制器和儀表

特點

• 長期零點穩(wěn)定性，每年變動小于滿量程的 ± 0.5%ar
• 穩(wěn)定時間極短：300 ms - <700>
• 滿量程流速高達(dá) 300 slpm
• 超高純度流路 - 4µ 英寸 Ra 表面處理
• 符合 SEMI F20 標(biāo)準(zhǔn)的接液材料
• 采用高速 ARM 處理器的耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器
• 可進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件不受壓差影響，并且測試表明產(chǎn)品經(jīng)七百萬次循環(huán)
• MultiFlo™ 技術(shù)擁有的靈活性 — 一臺設(shè)備經(jīng)編程設(shè)定后即可滿足數(shù)千種不同氣體和流量測量范圍配置的需求，無需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
• 本地顯示屏可指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址以便于輕松解決供氣和隔離閥故障問題
• DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口

優(yōu)勢

• GF125 系列產(chǎn)品通過將布魯克斯儀器的流量傳感器技術(shù)與能夠進(jìn)行快速反應(yīng)的無隔膜閥組件相結(jié)合，可將響應(yīng)速度和穩(wěn)定速度較之其他質(zhì)量流量控制器提高 3 倍。
• 經(jīng)優(yōu)化的接液流路，可提升干燥效果
• MultiFloTM 技術(shù)可實現(xiàn) MFC 流量測定量程的重新設(shè)定，通常是按 3:1 下調(diào)并且不影響精度，量程比或內(nèi)漏率，以提供的工藝和庫存靈活性
• 全面的氣體數(shù)據(jù)庫為您提供泛的氣體保護(hù)信息
• 壓力變化補(bǔ)償 (PTI) 功能能夠克服傳統(tǒng) MFC 的限制（受進(jìn)氣壓力波動影響明顯）。產(chǎn)品效果表明其性能穩(wěn)定并且可達(dá)到預(yù)期精度。
• 便捷的用戶顯示屏和獨(dú)立的診斷/維護(hù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)測和故障排除

關(guān)鍵應(yīng)用

• 半導(dǎo)體
• MOCVD（金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積）
• 要求使用高純度全金屬流路的氣體流量控制應(yīng)用

便捷的維護(hù)端口

• 輕松進(jìn)行診斷和故障排除
• 不影響工具通信

用戶界面

• 輕松安裝、啟動和操作

機(jī)械耦合閥

• 耐腐蝕全金屬閥
• 采用無隔膜設(shè)計并且不受壓差影響
• 高速吹掃功能
• 測試表明產(chǎn)品經(jīng)四百萬次循環(huán)

壓力傳感器

• 不受輸送壓力擾動或波動影響的穩(wěn)定流量控制

第二代溫升傳感器

• 出色的長期穩(wěn)定性（<+0.5%>
• 提高了信噪比
• 高速吹掃功能
• 可在較低溫度下工作，適用于易發(fā)生熱分解的氣體

溫度傳感器

• 可在全溫度范圍內(nèi)進(jìn)行準(zhǔn)確的流量和溫度測量
• 實時補(bǔ)償環(huán)境溫度波動，實現(xiàn)準(zhǔn)確的氣體化學(xué)控制