特點(diǎn)

• 超穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測(cè)量傳感器
• 高純度流路
• 遠(yuǎn)程控制電子元件（標(biāo)配兩個(gè)模擬電子連接器）
• 數(shù)字測(cè)量和控制架構(gòu)

優(yōu)勢(shì)

• 傳感器穩(wěn)定性高，可保障超長(zhǎng)運(yùn)行時(shí)間、減少維護(hù)工作并降低總體擁有成本
• 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
• 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D"連接器，可實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化并減少庫(kù)存
• 強(qiáng)化準(zhǔn)確性和過(guò)程控制

應(yīng)用

• 光纖制造 - MCVD
• 硅材料半導(dǎo)體器件加工工藝