超純高流量減壓閥 PRH

PRH系列超純高流量減壓閥采用單級膜片式硬密封設(shè)計，超低漏率，內(nèi)部EP電解拋光處理，超低內(nèi)表面粗糙度。高壓輸入（可達(dá)3500Psi），低壓輸出時滿足高流量的要求。適用于半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純度氣體。每臺減壓閥出廠前都會進(jìn)行單獨的壓力測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測。

材料

閥體：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22

閥座：PCTFE/PI

膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

閥體內(nèi)漏率：≤2.0x10-10 Pa?m3/sec He

閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa?m3/sec He

閥座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa?m3/sec He

內(nèi)表面粗糙度

B：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級：Ra≤5μin （0.13μm）

安裝方式：后座安裝、面板安裝

進(jìn)口壓力: 標(biāo)準(zhǔn)及高流量款HF 1700psi (117bar)、應(yīng)力補(bǔ)償款FC 300psig (21bar)、 高壓款HR 3500psi（241Bar）

出口壓力: 1-150psi（詳見選型表）

驗證壓力：工作壓力的150％

爆破壓力：工作壓力的300％

供壓效應(yīng)：標(biāo)準(zhǔn)款3.5%,、高流量款HF和應(yīng)力補(bǔ)償款FC:4.2%

流量曲線：

端口配置：

連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、對焊管接頭