超純低流量單級(jí)減壓閥 PRL

PRL系列超純低流量單級(jí)減壓閥采用單級(jí)膜片式硬密封設(shè)計(jì)，超低漏率，內(nèi)部EP電解拋光處理，超低內(nèi)表面粗糙度。適用于半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純度氣體，具有的重復(fù)性，穩(wěn)定性及靈敏度。每臺(tái)減壓閥出廠前都會(huì)進(jìn)行單獨(dú)的壓力測(cè)試、氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試和顆粒物檢測(cè)。

材料

閥體：SS316L、SS316L VAR

閥座：PCTFE/PI

膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L

使用溫度

PCTFE: -40~80℃

PI: -26~177℃

閥體內(nèi)漏率：≤2.0x10-10 Pa?m3/sec He

閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa?m3/sec He

閥座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa?m3/sec He

內(nèi)表面粗糙度

B：Ra≤10μin（0.25μm）

EP級(jí)：Ra≤5μin （0.13μm）

安裝方式：后座安裝、面板安裝

進(jìn)口壓力: 300psi（20.7Bar）

出口壓力:100mm Hg - 10psi

驗(yàn)證壓力：工作壓力的150％

爆破壓力：工作壓力的300％

流量曲線：

端口配置：

連接選擇：VCR公頭、VCR母頭、對(duì)焊管接頭