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詳細(xì)介紹
超純中低流量單級減壓閥 PRLI
PRLI系列超純低流量單級減壓閥采用單級膜片式硬密封設(shè)計，超低漏率，內(nèi)部EP電解拋光處理，超低內(nèi)表面粗糙度。高壓輸入（可達(dá)3500Psi），低壓標(biāo)準(zhǔn)流量輸出，輸出壓力穩(wěn)定，適用于半導(dǎo)體行業(yè)使用的高純度氣體。每臺減壓閥出廠前都會進行單獨的壓力測試、氦質(zhì)譜泄漏測試和顆粒物檢測。
材料
閥體：SS316L、SS316L VAR、Hastelloy C-22
閥座：PCTFE/PI
膜片、提升閥芯： Hastelloy C-22、SS316L
使用溫度
PCTFE: -40~80°C
PI: -26~177℃
閥體內(nèi)漏率：≤2.0x10-10 Pa?m3/sec He
閥體外漏率：≤2.0x10-9 Pa?m3/sec He
閥座泄漏率：≤4.0x10-8 Pa?m3/sec He
內(nèi)表面粗糙度
B：Ra≤10μin（0.25μm）
EP級：Ra≤5μin （0.13μm）
安裝方式：后座安裝、面板安裝
進口壓力: 3500psi（241Bar）
出口壓力: 1-150psi（詳見選型表）
驗證壓力：工作壓力的150％
爆破壓力：工作壓力的300％
| 規(guī)格 | 1/4" | 3/8" |
| CV值（流量系數(shù)） | 0.09（標(biāo)準(zhǔn)）/0.15（高流量HF） | |
| 內(nèi)部容積 | 0.49 in3 (8 cm3 ) | |
供壓效應(yīng)：標(biāo)準(zhǔn):0.25%, 高流量HF:0.75%
流量曲線：
端口配置：
連接選擇：
VCR公頭、VCR母頭、對焊管接頭
| 編碼 | 進口壓力 | 出口壓力 | 兩端接頭 | A(mm) |
| PRLI1004M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI3004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI6004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI10004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI15004M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"VCR公/母頭 | 94 |
| PRLI1006M/F | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI3006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI6006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI10006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI15006M/F | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"VCR公/母頭 | 119 |
| PRLI1004W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI3004W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI6004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI10004W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI15004W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 1/4"對焊 | 75 |
| PRLI1006W | 真空-300psi (21bar) | 1-10psi (0.07-0.7bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI3006W | 真空-3500psi (241bar) | 1-30psi (0.07-2.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI6006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-60psi (0.14-4.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI10006W | 真空-3500psi (241bar) | 2-100psi (0.14-7.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
| PRLI15006W | 真空-3500psi (241bar) | 5-150psi (0.34-10.0bar) | 3/8"對焊 | 75 |
尺寸僅供參考, 實物可能會變動。
高流量款，請在編號后+HF；多孔端口，請在編碼后加孔數(shù)+PW
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