型號

5850E

5860E

流量范圍(N2)

  3SCCM~30SLPM

  3SCCM ~ 30slpm

  響應(yīng)時(shí)間

  <3 sec

  <2 sec

精準(zhǔn)度

  ≤±1% FS

  ≤±1% FS

  重復(fù)精度

  ±0.25% FS

  ±0.25% FS

  輸入/輸出信號

0~5 Vdc OR 4~20 mA

  0~5 Vdc OR 4~20 mA

供電電源

  +15 Vdc

  +15 Vdc

 耐壓

 1500psi

 1500psi

壓差范圍

5~50psi

漏率

  1*10E-9 atm cc/sec

  1*10E-9 atm cc/sec

工作環(huán)境溫度

  0~50 °C

  0~50 °C

使用范圍

  2 ~ 99%

  2~ 99%

接口形式

卡套、VCR

卡套、VCR