詳細介紹


產(chǎn)品簡介: GPC-100A 精確磨拋控制儀簡稱磨拋控制儀, 主要用來控制被研磨樣品表面的平面度和平行度, 使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質(zhì)量優(yōu)良的表面狀態(tài)。磨拋控制儀采用質(zhì)量優(yōu)良的不銹鋼材料制成, 外形美觀,制造工藝,主要適用于 UNIPOL-1202、UNIPOL-1502 研磨拋光機上,是工件進行磨拋時不 可缺少的精密磨拋器具, 尤其適用于晶圓樣品、表面平行度和平面度要求高的大的圓片狀樣品的研磨。 GPC-100A 精確磨拋控制儀專用載樣塊用螺紋與控制儀進行連接, 試樣裝卡方式為真空吸附, 并配有數(shù)顯 厚度測量儀,可實時監(jiān)測樣品減少的厚度,承載樣件直徑不大于 103mm 、厚度不大于 13mm 且具有工藝重 復性高的優(yōu)點。
產(chǎn)品名稱 | GPC-100A 精 確磨拋控制儀 |
產(chǎn)品型號 | GPC-100A |
主要特點 | 可嚴格控制被磨樣品表面的平行度和平面度,控制準確度高。研磨過程中可搭配數(shù)顯測厚儀使 用,隨時觀測樣品磨削量,尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨 使用。 |
技術參數(shù) | 1、載樣盤直徑: ?103mm 2、載樣盤軸向行程: 12mm 3、數(shù)顯表精度: 0.001mm 4、載樣盤可調(diào)加載壓力: 0.1kg-2.1kg 5、壓力確認儀有效量程: 1g-5000g 6、樣品裝卡方式:真空吸附 7、承載樣件尺寸:直徑≤ 103mm、厚度≤ 13mm |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸: 外徑 146mm ,高 266mm |
標準配件 | 1、真空泵 |
2、過濾瓶 3、底座 4、玻璃片 |
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