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精密液體氣相發(fā)生器

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更新時間:2026-06-03 07:54:33瀏覽次數(shù):77

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制,流量為80ml/min,精確度為0.005ml

詳細介紹


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產(chǎn)品簡介: 精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室 CVD 實驗中導入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過數(shù)字液體泵 來控制, 流量為 80ml/min ,精確度為 0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝

置加熱成蒸汽, 然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠?qū)С龆喾N液體, 如 ETOH 、SnCl4 、 TiCl4R、

SiHCl3 和 Zn(C2H5)2,以及多種有機物混合。對于研究用 CVD 方法生長納米線和薄膜是的研究設(shè)備。



產(chǎn)品型號

精密液體氣相發(fā)生器

主要特點

1 、流體和氣體在一個 316 不銹鋼罐中加熱。


2 、采用 30 段程序化控溫。


3 、氣體流速通過浮子流量計控制。


4 、配有壓力表,可測出液氣混合罐中的氣體壓強。


5 、配有兩個不銹鋼針閥,以控制氣體進出。


6 、可與本司所有管式爐和 CVD 系統(tǒng)相連接。


7 、已通過 CE 認證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源: 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz


2、功率: 1000W


3、蠕動泵:精確度±0.02%FS ,流量 0-80ml/min (可調(diào))


4、工作溫度: 300℃





5 、控溫精度:±1℃


6、浮子流量計: 0-2000ml/min (可調(diào))


7、出氣口: 外徑 1/4″

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 350mm×335mm×300mm;重量: 5kg

可選配件

加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過程中不會液化。)


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