產(chǎn)品型號(hào)

精密液體氣相發(fā)生器

主要特點(diǎn)

1 、流體和氣體在一個(gè) 316 不銹鋼罐中加熱。

2 、采用 30 段程序化控溫。

3 、氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制。

4 、配有壓力表，可測(cè)出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。

5 、配有兩個(gè)不銹鋼針閥，以控制氣體進(jìn)出。

6 、可與本司所有管式爐和 CVD 系統(tǒng)相連接。

7 、已通過(guò) CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： 單相 AC208V-240V    50Hz/60Hz

2、功率： 1000W

3、蠕動(dòng)泵：精確度±0.02%FS ，流量 0-80ml/min （可調(diào)）

4、工作溫度： 300℃

5 、控溫精度：±1℃

6、浮子流量計(jì)： 0-2000ml/min （可調(diào)）

7、出氣口： 外徑 1/4″

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 350mm×335mm×300mm；重量： 5kg

可選配件

加熱帶（纏繞在外接的管道上，以保證液體蒸汽在傳輸過(guò)程中不會(huì)液化。）