產(chǎn)品型號(hào)

1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐 GSL-1400X-Ⅲ

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3 、氣：如作為CVD 系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺(tái)： 尺寸 1200mm×600mm×700mm ，承重 300kg 以上

5、通風(fēng)裝置：需要

主要特點(diǎn)

1、雙層殼體，爐膛采用高純氧化鋁纖維，真空吸附一次成型。

2、高密度硅碳棒，真空擠壓成型。

3 、密封法蘭，可通入氣氛抽真空。

4 、已通過 CE 認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1 、電源： AC 220V    50Hz/60Hz    4KW

2、剛玉管： Ø60mm×1000mm ，Ø80mm×1000mm

3、加熱元件： 硅碳棒

4、熱電偶： S 型

5、恒溫區(qū)域： 120mm

6 、工作溫度：  1400℃ ，連續(xù)工作 1300℃

7、控溫精度：± 1℃

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 860mm×470mm×720mm；重量： 120kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

剛玉（氧化鋁）管

1 根

2

氧化鋁管堵

4 個(gè)

3

熱電偶（ S 型）

1 個(gè)

4

不銹鋼法蘭

1 套

5

硅膠密封圈

6 個(gè)

6

高溫手套

1 雙

可選配件

1 、PC 機(jī)控制軟件及通訊模塊

2、數(shù)字真空計(jì)

3、剛玉管、石英管

4、氧化鋁坩堝、石英坩堝

5、坩堝鉗

6、高真空系統(tǒng)

7、供氣混氣系統(tǒng)

8、雙級(jí)旋片真空泵