產(chǎn)品型號

高真空三溫區(qū) CVD 系統(tǒng) OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

安裝條件

本設備要求在海拔 1000m 以下， 溫度 25℃±15℃ ，濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。

1、水：不需要

2、電： AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

4、工作臺： 尺寸 1600mm×600mm×700mm ，承重 150kg 以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、爐體采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面的溫度<60℃。

2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維，減少熱量損失，且內膛涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱 效率，延長使用壽命。

3、設有三個溫區(qū)，可獨立控溫， 可設置 50 段升降溫程序，并設有過熱和斷偶保護。

4、供氣系統(tǒng)與真空機組置于移動架內，方便移動。

5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作，按下“start" 鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動 （隔膜泵先啟動，

待真空度達到 10-2mbar 后分子泵自動啟動）。

6、根據(jù)腔體內的真空度，系統(tǒng)自動控制旋片泵的旋轉速率。

7 、已通過 CE 認證。

技術參數(shù)

管式爐

1、電源： AC 208V-240V 單相  50Hz/60Hz    7KW

2、爐管：高純石英管， 外徑 ?100mm×內徑 ?92mm×1400mm

3、加熱元件： 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯

4、加熱區(qū)：  溫區(qū) I 長 220mm ，溫區(qū) II 長 440mm ，溫度 III 長 220mm ，總長 880mm

5、恒溫區(qū)： 500mm  （三個溫區(qū)設為同一溫度時）

6、工作溫度：  1200℃， 連續(xù)工作 1100℃

7、升溫速率：≤20℃/min

8、控溫精度：± 1℃

9、熱電偶： 3 根 K 型熱電偶

高真空機組

1、輸入電源： AC110V 或 AC220V 可切換  50Hz/60Hz

2、消耗功率： 110W

3、殼體尺寸： 600mm×600mm×700mm

4、承重量： 270kg

5、抽氣速率： N2-33L/s ，He-39L/s ，H2-32L/s

6、工作范圍： 1000mbar-<10-7mbar

7、極限真空度： 10-5torr

8、數(shù)字式真空顯示計： 10-8mbar-103mbar

質量流量混氣系統(tǒng)

1、質量流量計： 9 通道精密質量流量計

2、流量計范圍： 10sccm-1000sccm 三個， 20sccm-200sccm 三個， 30sccm-10sccm 三個

3、壓力表： 3 個，用來檢測混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸： 爐體 550mm×380mm×520mm ，高真空機組 600mm×600mm×700mm，質量流量混

氣系統(tǒng) 600mm×600mm×700mm

重量： 100kg

真空配件

1

不銹鋼真空密封法蘭

2 個

2

精密針閥

2 個

3

1/4″軟管接頭

1 個

4

高溫硅膠 O 型密封圈（可承受 300 ℃）

6 個

5

氧化鋁管堵

1 套

6

KF-40 真空波紋管

1 根

7

KF-40 快速卡箍

3 個

8

KF-25 卡箍

2 個

可選配件

防腐型數(shù)字式真空顯示計