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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介：全自動橢偏檢測機(jī)臺作為一種小型橢偏集成機(jī)臺，通過整體高度模塊化，電、氣路集成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介：全自動橢偏檢測機(jī)臺作為一種小型橢偏集成機(jī)臺，通過整體高度模塊化，電、氣路集成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)不同橢偏測量模塊在線/離線式整體橢偏測量解決方案。全自動橢偏檢測機(jī)臺廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究中各種各向同性，異性薄膜材料的膜厚、光學(xué)常數(shù)以及一維、二維納米光柵的結(jié)構(gòu)表征；工業(yè)領(lǐng)域新型光電器件行業(yè)所涉及的薄膜（配向膜、光刻膠，ITO、發(fā)光薄膜、封裝薄膜）全片離線化快速掃描測量。

產(chǎn)品型號	全自動橢偏檢測機(jī)臺
主要特點(diǎn)	1、支持實(shí)驗(yàn)室研究整體橢偏集成控制測量技術(shù) 2、支持產(chǎn)線大基片離線自定義多點(diǎn)掃描測量并輸出報(bào)告 3、支持多橢偏方案，多組合集成 4、支持測頭模塊以及樣件機(jī)臺定制化
技術(shù)參數(shù)	自動化程度	可變/固定角
	應(yīng)用定位	高階高精度型	高精度型
	單次測量時(shí)間	0.5-5s
	分析光譜	380-1000nm（支持?jǐn)U展至 193-2500nm）

	Mapping 行程	支持 100x100mm 行程擴(kuò)展
	支持樣件尺寸	支持 200mm 樣件

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全自動橢偏檢測機(jī)臺03090806

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