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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品描述 SE206是半橋壓阻式傳感器芯片，具有高達150的靈敏系數(shù)，是專門為低至幾十個微應(yīng)變的微小應(yīng)變測量而設(shè)計的

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產(chǎn)品描述

SE206是半橋壓阻式傳感器芯片，具有高達150 的靈敏系數(shù)，是專門為低至幾十個微應(yīng)變的微小應(yīng)變測量而設(shè)計的。其典型應(yīng)用是把兩個 SE206 粘貼在由不銹鋼或陶瓷制成的圓形壓力膜片上，形成惠斯登電橋來測量壓力。粘貼此傳感器芯片的典型方法是通過玻璃微熔工藝把芯片燒結(jié)在膜片上。

SE206 傳感器芯片的兩個壓阻式電阻相互串聯(lián)，類似于 BCM的金屬箔應(yīng)變計GB(BL)的結(jié)構(gòu)。因此，該傳感器芯片還可用于測量力，例如，通過把其粘合在反向彎曲梁上用來測量壓縮力或拉伸力。

由于此傳感器芯片是基于MEMS 工藝制造而成，SE206傳感器芯片尺寸小 (1.5mm x 0.5mm)，可實現(xiàn)大批量生產(chǎn)。

包裝前，每個 SE206 傳感器芯片都經(jīng)過單獨測試并符合其規(guī)格。

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)名稱		單位	技術(shù)指標(biāo)	注釋
測量應(yīng)變范圍		με	15~500
工作應(yīng)變		%fs	150	1
應(yīng)變極限		%fs	200	1
電阻值		KΩ	4±1
兩個電阻間的阻值差		%R	≤±1.5
靈敏系數(shù)(GF)			150
激勵	電壓	Vdc	5(典型值)，或 2，...10Vdc范圍內(nèi)的任何電壓值
激勵	電流	mA	1(典型值),或 0.5，...2.5mA范圍內(nèi)的任何電流值
零點輸出		mV/V	≤±15
非線性誤差(NL)		%fs	≤±0.5	2 & 3
遲滯性誤差(HY)		%fs	≤±0.2
重復(fù)性誤差(RP)		%fs	≤±0.2
長期穩(wěn)定性		%fs/年	≤±0.2
儲存溫度范圍		°C	-40~ +150
工作溫度范圍		°C	-40~ +150
橋阻溫漂系數(shù)		%R/°C	≤0.35	4
零點溫漂系數(shù)		%fso/°C	≤±0.5	5
靈敏度溫漂系數(shù)		%fso/°C	≤\|-0.4\|	5
零點熱遲滯		%fso/°C	≤±0.3
電氣接口			裸焊盤
尺寸		mm	1.6x0.5x0.01