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詳細(xì)介紹
- 簡 介
成都南光機(jī)器有限公司ZZS系列箱式真空鍍膜機(jī)，經(jīng)過四十多年的發(fā)展，形成了真空鍍膜室尺寸從350毫米到3600毫米的箱式真空鍍膜機(jī)系列產(chǎn)品。廣泛應(yīng)用于企業(yè)、科研院所、大專院校的科研和量產(chǎn)化生產(chǎn)領(lǐng)域，是鍍制多層光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜的理想設(shè)備。
產(chǎn)品特點(diǎn)
●采用箱式結(jié)構(gòu)，真空系統(tǒng)后置，便于操作和維修；整機(jī)表面平整，方便清潔，特別適合放置在凈化間內(nèi)做穿墻式安裝。
●設(shè)備真空系統(tǒng)抽速大，具有抽氣時間短，真空度高，生產(chǎn)周期短等優(yōu)點(diǎn)。
●采用管狀加熱器上烘烤，烘烤溫度均勻，壽命長，可達(dá)到******烘烤溫度350℃，烘烤均勻性270℃±10℃。
●工件轉(zhuǎn)動采用上部中心驅(qū)動，軸承帶水冷，磁流體密封，轉(zhuǎn)動平穩(wěn)******。
●采用石英晶體膜厚控制儀，可實(shí)現(xiàn)鍍膜過程的自動控制。
●采用******的鍍膜控制系統(tǒng)，人機(jī)操作界面美觀實(shí)用，系統(tǒng)穩(wěn)定******，可實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的手動、半自動和全自動操作。
適用范圍
●用于生產(chǎn)IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長波通、短波通和多種電學(xué)薄膜
常用標(biāo)準(zhǔn)配置
●以下表格內(nèi)容為我公司五種常用標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型的配置及指標(biāo)，多年來我公司先后開發(fā)了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空鍍膜機(jī)。為滿足廣大用戶的不同需求，我公司可接受多種形式的真空鍍膜機(jī)的定制要求，包括對真空室體尺寸、真空系統(tǒng)配置、工件夾具系統(tǒng)、工件烘烤系統(tǒng)、膜厚監(jiān)控系統(tǒng)、蒸發(fā)源系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、離子源系統(tǒng)以及電氣控制系統(tǒng)的特殊定制。
ZZS系列箱式真空鍍膜機(jī)
Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
常用標(biāo)準(zhǔn)配置表
Standard configurations for common use
Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
常用標(biāo)準(zhǔn)配置表
Standard configurations for common use
| 型 號 Model | ZZS600 | ZZS700 | ZZS800 | ZZS900 | ZZS1100 | ZZS1300 | ZZS1800 | ||
| 真空室尺寸(直徑×高) Size of the vacuum chamber (diameter× height) | Φ600×750 | Φ710×850 | Φ800×900 | Φ900×1000 | Φ1100×1300 | Φ1300×1300 | Φ1800×2000 | ||
| 極限真空度 Ultimate vacuum degree | ≤3.0×10-4Pa | ||||||||
| 恢復(fù)真空時間 Time for vacuum recovery | 4.0×10-3Pa≤15min | ||||||||
| 抽氣系統(tǒng) Pumping system | 擴(kuò)散泵 Diffusion pump | K-400 | TK-500 | K-600 | K-630 | TK-500×2 | K-630×2 | K-800×2 | |
| 羅茨泵 Roots pump | ZJP-150 | ZJP-300 | ZJP-300 | ZJP-1200 | |||||
| 機(jī)械泵 Mechanical pump | 2X-30 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70 | 2X-70，H-150×2 | ||
| 真空測量系統(tǒng) Vacuum measuring system | 配三路數(shù)字復(fù)合真空計(jì)，兩路低真空，一路高真空 Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum | ||||||||
| 操作方式 Operation mode | 手動/自動 Manual/automatic | ||||||||
| 工件夾具 Work piece holder | Φ600 | Φ640 | Φ750 | Φ840 | Φ1040 | Φ1240 | Φ1720 | ||
| 工件烘烤系統(tǒng) Work piece baking system | 上烘烤，鎧裝管狀加熱器加熱，******溫度350℃，PID自動控溫及顯示 Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display. | ||||||||
| 蒸發(fā)源 Evaporation source | 電阻蒸發(fā)源 Resistance evaporation source | 電阻蒸發(fā)源功率4KW（8V、600A） Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A) | |||||||
| 電子束蒸發(fā)源 Electron beam evaporation source | E型電子束蒸發(fā)源，功率6～10KW Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW | ||||||||
| 膜厚監(jiān)控系統(tǒng) Monitoring system on depth of films | 光學(xué)膜厚監(jiān)控，波長范圍380-800nm，9ｏ透反射光路，六位電動比較片帶顯示；石英晶體膜厚監(jiān)控，美國SQC-310、IC/6 The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9ｏtransflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6 | ||||||||
| 充氣系統(tǒng) charge systems | 自動壓強(qiáng)儀2～510-2Pa Automatic pressure instrument | ||||||||
| 質(zhì)量流量計(jì)：單路單顯，雙路雙顯 Mass flow meter: one way one display, dual way dual display | |||||||||
| 離子輔助（選配） Ion-assisted (optional) | H6霍爾離子源、H10霍爾離子源、Φ12cm考夫曼離子源、Φ16cm考夫曼離子源 H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source | ||||||||
| 深冷捕集器（選配） Cryogenic trap (optional) | 國產(chǎn)12P、國產(chǎn)15P、進(jìn)口POLYCOLD550、進(jìn)口POLYCOLD670 Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670 | ||||||||
| 動力需求 Power demand | 冷卻水 Cooling water | 壓力溫度 Pressure and temperature | 壓力：0.25～0.35MPa；溫度≤25℃ Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃ | ||||||
| 流量 Flow rate | ≥50L/min | ≥60L/min | ≥80L/min | ≥100L/min | ≥140L/min | ≥160L/min | ≥180L/min | ||
| 壓縮空氣 Compressed air | 壓力：0.5～0.7MPa Pressure: 0.5-0.7MPa | ||||||||
| ******消耗電力 Maximum power consumption | ～25KW | ～35KW | ～40KW | ～45KW | ～50KW | ～60KW | ～120KW | ||
| 設(shè)備外形尺寸（寬×深×高） Overall dimension (width×depth×height) | 2100×1800×2000 | 3350×2600×2370 | 3580×3000×2450 | 3870×3600×2670 | 3870×3600×2670 | 3900×4050×2950 | 4400×4000×3600 | ||
| 設(shè)備總重（KG） Gross weight (Kg) | 約1500 About 1,500 | 約2000 About 2,000 | 約2500 About 2,500 | 約3000 About 3,000 | 約3000 About 3,000 | 約4000 About 4,000 | 約6000 About 4,000 | ||
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