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詳細介紹
- 產(chǎn)品應用
本設備供光電成像器件中零部件、坡莫合金和各種電真空器件在真空中退火、焊接、除氣、及表面凈化處理用。
| 型號 Mode 技術參數(shù) Technical Data | L1113Ⅱ-1 | L1112Ⅱ-1（無油） | L1122Ⅱ-1 |
| ******加熱溫度（空爐 ）Max.Heating Temperature（no-load） | 1300℃ | 1200℃ | 2200℃ |
| 額定工作溫度 Rated Working Temperature | 1200℃ | 1100℃ | 2100℃ |
| 加熱方式 Heating Mode | 鎢桿組（一段加熱）Tungsten Rods | 鎢桿組（一段加熱）Tungsten Rods | 鉭皮 Tantalum sheet |
| 爐溫均勻性 Furnace Temperature Uniformity | ±5℃ | ±5℃ | ±5℃ |
| 爐膛尺寸 Furnace Chamber Dimension | Φ200×300 mm | Φ200×300 mm | Φ75×200 mm |
| 控溫精度 Temperature Control Precision | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
| 空載室溫到工作溫度時間 From Room Temperature to working temperature | < 40Min | < 40Min | < 40Min（2100℃） |
| 真空系統(tǒng) Vacuum System | 擴散泵系統(tǒng) Diffusion Pump System | 分子泵系統(tǒng) Turbo Pump System | 分子泵系統(tǒng) Turbo Pump System |
| 極限真空（空爐） Ultimate Pressure（no-load） | 5×10-3Pa | 7×10-4Pa | 1.3×10-5Pa |
| 工作真空度 Working Vacuum | 5×10-2Pa | 7×10-3Pa | 5×10-4Pa |
| 壓升率 Pressure Rise Rate | 0.67 Pa/h | 0.5 Pa/h | 0.67 Pa/h |
| 冷卻水壓 Cooling Water Pressure | 0.2 M Pa～ 0.3 M Pa | 0.2 M Pa～ 0.3 M Pa | 0.2 M Pa～ 0.3 M Pa |
| 總重量 Total Weight | 1800Kg | 1800 Kg | 1800 Kg |
| 設備總功率 Total Power | 30 KW | 22 KW | 30 KW |
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