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詳細介紹
- 產(chǎn)品應(yīng)用
用于電真空器件，如磁控管、行波管、回旋管、調(diào)速管等真空排氣。
主要結(jié)構(gòu)與工作方式
●手工裝料
●立式，單工位、多工位
●主機與控柜一體或分開設(shè)置
| 型號 Mode 技術(shù)參數(shù) Technical Data | P431-2 | P436-1 | P431-1 | P432-1 |
| 主極限真空度 Ultimate Vacuum | ≤2×10-6Pa | 10-6Pa | ≤3×10-7Pa | ≤3×10-8Pa |
| 烘箱真空 Baking Chamber Vacuum | ≤1×10-1Pa | 5 Pa | 2 Pa | 5 Pa |
| 烘箱工作空間 Baking Chamber Dimension | Ф500×1200 mm | Ф700×700 mm | Ф460×500 mm | Ф200×1200 mm |
| 真空系統(tǒng) Vacuum System | 分子泵系統(tǒng) Turbo Pump System | 分子泵系統(tǒng) Turbo Pump System | 離子泵系統(tǒng) Ion Pump System | 冷凝泵系統(tǒng) Cryopump System |
| ******溫度 Max.Temperature | 650℃ | 600℃ | 600℃ | 600℃ |
| 溫度均勻性（軸向） Temperature Uniformity | ≤±5℃三點測溫 (3 point measurement) | ±10℃ | ±5℃ | ≤±5℃三點測溫 (3 point measurement) |
| 抽氣速度 Pumping Speed | ≥450 L/S | ≥450L/S | ≥450L/S | ≥450L/S |
| 加熱功率 Heating Power | 12 KW | 18 KW（10可調(diào)，8固定） (10 adjustable,8 fixed) | 9 KW | 10 KW |
| 總功率 Total Power | 15 KW | 22 KW | 13 KW | 15 KW |
| 加熱方式 Heating Mode | 外加熱 Outside Heating | 外加熱 Outside Heating | 內(nèi)加熱 Inside Heating | 內(nèi)加熱 Inside Heating |
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