真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱簡(jiǎn)介
     真空無(wú)氧烘箱是一種提供高溫、低氧、潔凈環(huán)境的特殊制程設(shè)備。烘箱內(nèi)部為不銹鋼結(jié)構(gòu)，全部采用無(wú)塵材料，箱內(nèi)可充氮、真空，使烘箱工作室內(nèi)處于低氧、潔凈狀態(tài)。工作室內(nèi)溫度由溫控儀自動(dòng)控制，并有自動(dòng)恒溫及時(shí)間控制裝置，曲線升溫、恒溫、快速降溫。并附設(shè)有超溫?cái)嚅_加熱、氧含量檢測(cè)、輔助降溫裝置及報(bào)警電路，控制可靠，使用安全。
      真空無(wú)氧烘箱用于PI膠、BCB膠固化，鍵合材料預(yù)處理，ITO膜退火，PR膠排膠固化等特殊工藝。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門。
真空無(wú)氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍： RT ～300/450/550℃；
溫度波動(dòng)度：≤±1℃
升溫速度：0-10℃/min；
降溫方式：自然降溫或風(fēng)冷+水冷降溫
氮?dú)饪刂疲?可調(diào)試流量計(jì)控制
氧含量檢測(cè)：20～1000ppm
工作尺寸：W350×H350×D350,

                W450×H450×D450，

                W600×H600×D600可定制
高溫?zé)o氧真空烤箱結(jié)構(gòu)：
箱體材料：外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板烤漆；
內(nèi)室材料：采用316L級(jí)不銹鋼；
保溫材料：超細(xì)陶瓷纖維；
排 氣 口：KF16；
真空泵：渦旋干泵（進(jìn)口）；
高溫?zé)o氧真空烘箱溫控系統(tǒng)：
操作界面：人機(jī)界面+PLC，可一鍵運(yùn)行，多個(gè)工藝編輯；
溫度測(cè)量：K型熱偶；
控制儀表：高精度溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制精度0.1℃，