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詳細(xì)介紹
精密熱板，高精度烤膠機(jī)簡介：
精密熱板用于固化光刻膠，固化環(huán)氧塑脂，可用于顯微鏡下使用以及其它需要高精度控溫的場合等。在電子、化工等行業(yè)的工礦企業(yè)、科研、教育等單位，進(jìn)行熱老化、溫度試驗(yàn)及干燥、烘焙、消毒和熱處理等試驗(yàn)中常見。主要應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)，用于直徑φ150mm晶圓或¨150mm方片的烘烤工藝，手動上下料、自動烘烤作業(yè)。
精密熱板，高精度烤膠機(jī)技術(shù)參數(shù)：
溫度加熱范圍： 50℃-200℃；
表面溫度均勻性：
50 ~ 120℃ R≤±0.5℃
121 ~ 150℃ R≤±0.75℃
151 ~ 200℃ R≤±1.0℃；
適用基片尺寸： 4、6寸晶圓及小于150mm方片 ；
溫度控制器：P.I.D溫度控制，高亮度4位數(shù)字LED顯示溫度 ；
控溫精度： 0.1℃；
配置定時(shí)器，可編程定時(shí)控制
配置真空端口，可使基片和熱板緊密接觸 ；
惰性氣體：可充氮?dú)饪刂?/span>
電源：220V,50/60Hz；；
外形尺寸：350×350×530mm。
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