Photoresist光刻膠曝光的加工設備通常非常緊湊并且沒有足夠的空間來進行輻照度測量。美國ILT公司致力于提供各種獨特的光刻膠專用儀器來實現(xiàn)這些困難的測量。International Light ILT2400輻照計具有采用可能換分離探頭設計，具有8個量級的動態(tài)測量范圍，測量速度可達100μs，內(nèi)置可充電電池持續(xù)長達8小時，4.3寸觸摸屏顯示，可橫向和縱向觀看，以手持價格研究質(zhì)量。SED033/A/W探頭帶有專為硅傳感器提供“A”波段響應（320-475 nm）的光刻膠過濾器，以及W固體石英內(nèi)半球擴散器，量程范圍2e-7 至2 W/cm²。

ILT測光表是易于使??用的高性能儀器，非常適合用作光度計photometers (勒克斯lux meters)、強度計intensity meters (坎德拉candela)、固化測量儀/輻照度計/光量計curing meters (劑量和曝光測量dose and exposure meters)、能量功率計power meters (瓦或流明watts or lumens)和flash meters (Xenon or LED strobe lamps)?？梢杂嗁彶煌墓馓綔y器探頭、濾光片、光測量輸入元件和波長校準來獲得更精確的測量結(jié)果。

美國International Light PCB線路板曝光測量輻照計與探頭選型表

International Light萬國光學濾片及輸入元件代碼解析

A光刻膠過濾器：定制濾波器設計用于提供硅傳感器的“A”響應（320-475 nm）

B光阻過濾器：濾波器旨在提供硅探測器的“B”響應（326-401 nm）

NS185窄帶濾光片：紫外線，中心波長為185 nm的干涉濾光片

QNDS1中性密度濾光片，10倍衰減；QNDS2 100倍、QNDS3 1000倍衰減

W擴撒器：用于ILT探測器的固體石英內(nèi)半球擴散器，用于200-2100 nm的余弦響應

TD擴撒器：用于ILT探測器的圓頂式聚四氟乙烯擴散器，用于250-700 nm的光譜范圍

AT衰減器帽：提供X10衰減，沒有螺紋，滑到探測器的末端

QT：11mm特氟龍石英窗口擴散器Teflon/quartz 11 mm Window Diffuser