V2-MW8晶圓吸筆主機(jī)內(nèi)置強(qiáng)力真空泵提供不間斷的吸力，通過氣管連接主機(jī)和筆桿與八寸Wafer吸筆頭，安全拾取轉(zhuǎn)移，簡易操作。鋁合金主機(jī)外殼，堅(jiān)固環(huán)保，低噪音、攜帶便捷，可吸取500g重量物體如硅晶圓、玻璃片、太陽能電池板等平面物體，通過旋鈕調(diào)節(jié)吸力大小?？缮炜s彈簧氣管長度2米，根據(jù)硅片尺寸可選擇4寸、6寸、8寸晶圓吸筆頭，分別對應(yīng)套裝型號V2-MW4、V2-MW6、V2-MW8。如果培訓(xùn)類操作可選擇國產(chǎn)產(chǎn)品，產(chǎn)線使用建議購買美國Virtual PEEK晶圓吸筆頭，可通用互換。

國產(chǎn)V2真空晶圓吸筆使用說明

1、將氣管一段連接主機(jī)側(cè)面的氣孔，另一端連接吸筆桿

2、把Wafers晶圓吸筆頭插頭筆桿前端并推至盡快固定

3、電源適配器插入100V~240V插座，另一端插入真空泵DC電源孔，打開電源開關(guān)

4、預(yù)估問題的重量，轉(zhuǎn)動(dòng)吸力調(diào)節(jié)旋鈕到合適位置

5、握住吸筆桿，將吸筆頭輕輕放在晶圓平面上，試著提起晶圓，如已穩(wěn)固吸取抓住可進(jìn)行轉(zhuǎn)移到目標(biāo)位置

6、將硅晶圓轉(zhuǎn)移到指定位置，按壓筆桿上的按鈕，即可釋放物體

7、根據(jù)硅片或玻璃片等平面物體的大小、重量選擇相應(yīng)吸盤吸筆頭，并調(diào)整吸力大小

基于成本預(yù)算設(shè)計(jì)，此套裝的真空泵主機(jī)、氣管、筆桿等部件均為國產(chǎn)產(chǎn)品，吸筆頭可選擇國產(chǎn)或進(jìn)口品牌，它們規(guī)格統(tǒng)一可通用。如果是高價(jià)值物體或者對設(shè)備要求較高，建議選擇美國Vitual真空吸筆，推薦型號：

1、無繩便攜型電池式真空晶圓吸筆

VPWE7300AR-MW8八寸真空吸筆，配方形8寸筆頭，可現(xiàn)場更換的充電電池，帶電量及安全真空度提示燈

VPW6300AR-VWT5R-220-AR晶圓吸筆，配圓形吸筆頭專用于12英寸wafers拾取，帶安全真空度操作提示燈

2、插電臺式電動(dòng)晶圓吸筆

WVE-9000-MW8-220晶圓吸筆，條形真空度顯示，確保安全操作安全可靠

AV-5000-MW8-220真空晶圓吸筆，真空度大小可調(diào)，主要是用于調(diào)小吸力保護(hù)銦化鎵、氮化鎵等脆弱易碎晶圓

美國Virtual晶圓吸筆頭型號規(guī)格

■ PEEK聚醚醚酮材質(zhì)，模塑加工制成，ESD防靜電，耐溫100℃，頭部厚度0.1寸=2.54mm、手柄長78.74mm

VMWT-A 4寸吸筆頭：盤面長*寬=35.56mm x 12.70mm，用于4” (100mm) wafers

VMWT-B 6寸吸筆頭：盤面長*寬35.56mm x 33.02mm，拾取轉(zhuǎn)移六寸6” (150mm) wafers晶圓

VMWT-C 8寸吸筆頭：盤面長*寬53.34mm x 35.56mm，拾取八英寸(200mm) wafers

VMWT-D方形12寸吸筆頭：盤面長*寬78.74mm x 53.34mm，可用于拾取12英寸wafers

特殊擴(kuò)展型號：

1、彎曲型——如果是在晶圓盒等帶槽的容器及直頭無法接觸平面物體的情況下操作，可選10°、20°、30°彎頭筆頭，在型號后面加入方向及角度代碼，如：VMWT-C30D八寸吸筆頭彎曲30度下彎。

2、加長型——VMWT-B/C/D即6寸、8寸、12寸筆頭可加長連接桿長度，由標(biāo)準(zhǔn)長78.74mm擴(kuò)展到200mm，對應(yīng)型號分別為VMWT-B-EX200、VMWT-C-EX200、VMWT-D-EX200。

Molded PEEK吸筆頭規(guī)格說明書/download/201812/Virtual_PEEK_VMWT-ABCD.pdf

■ 高溫涂層吸筆頭，耐高溫250℃，筆頭為鋁制陽極氧化材質(zhì)、厚度3.3mm，不銹鋼連接桿長度76.20mm

VWT-100075-PF 4寸耐高溫吸筆頭：長寬尺寸(1.05“ x 0.75") 26.67mm x 19.05mm，適用4” (100mm) wafers

VWT-170110-PF 6寸耐高溫吸筆頭：長寬尺寸(1.70“ x 1.10") 43.18mm x 27.94mm，用于6” (150mm) wafers

VWT-250125-PF 8寸耐高溫吸筆頭，長寬尺寸(2.50“ x 1.25") 63.50mm x 31.75mm，吸取8” (200mm) wafers

[國產(chǎn)筆桿及吸筆頭、加長桿]