多晶硅鑄錠爐

型號：ZG-450D

詳細描述：

一. 設備用途：本設備為產品，采用電阻加熱方式，底部進出料結構。一次裝入多達450Kg/500kg（視坩堝尺寸而定）多晶硅原料，用于多晶硅料的鑄錠。

二. 設備特點：

1、 爐底設有防漏硅裝置及防爆裝置；

2、 溫度梯度好，拉出硅棒效果好，雜質少；

3、 爐底升降采用機械傳動機構，定向結晶通過爐內升降機構，伺服機構保溫罩升降平穩(wěn)，操作方便

4、 本產品重要部件已獲得，一種帶可升降式保溫罩的多晶硅鑄錠爐；實用新型.5；一種帶水冷式雙電極和軟電纜的多晶硅爐；實用新型.2；發(fā)明.7。

三. 技術參數：

1.額定功率：200KW

2.常用溫度：1500℃，高溫度：1600℃

3.冷態(tài)極限真空度：＜1Pa

4.坩堝尺寸：870×870×420（L×W×H）mm

5、大鑄錠重量: 450Kg

6.移動隔熱屏大位移量：380（mm）

7.移動隔熱屏提升速度： 5～100mm/h(可調)