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CVD氣相沉積爐

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更新時(shí)間:2024-05-01 07:21:22瀏覽次數(shù):285

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

用途:CVD氣相沉積爐用于燒結(jié)碳碳及碳陶復(fù)合材料產(chǎn)品.主要配置:1.立式爐體,雙層爐體結(jié)構(gòu),水冷夾套設(shè)計(jì)

詳細(xì)介紹

用途:

CVD氣相沉積爐用于燒結(jié)碳碳及碳陶復(fù)合材料產(chǎn)品.

主要配置:

1.立式爐體,雙層爐體結(jié)構(gòu),水冷夾套設(shè)計(jì)。

2.爐膛內(nèi)由發(fā)熱元件,保溫層,測(cè)溫?zé)犭娕迹O(jiān)測(cè)熱電偶組成

3.發(fā)熱元件沿爐膛內(nèi)壁均勻布置,有利于加熱,溫度均勻性好

4.PLC加觸摸屏操作方式,有報(bào)警功能,自動(dòng)化程序高,安全可靠

主要技術(shù)參數(shù):

1.工作區(qū):?1500X2000mm

2.高溫度:1550℃

3.工作溫度:1400℃

3.極限真空度:20Pa

4.加熱方式電阻加熱

5.工作氣氛氬氣及反應(yīng)氣體


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