等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

40KHz  中頻

功  率

0~1000W可調(diào)

0-5000W可調(diào)

選配

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

316L不銹鋼、航空鋁（選配）

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

500*700*600 （寬*高*深)

極板有效尺寸(MM)

480*500 (寬*深)

極板

22層，水平式，活動可調(diào)節(jié)

腔體容積

200L

密封性

級焊接密封

泵

真空泵

油泵/干泵+羅茨泵組合（選配）

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計

＜±1% FS

氣路控制

2-4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

極限真空

5Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM（可調(diào)）

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等（可選）

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

1050*1700*1080(寬高深）

重  量

280KG

設(shè)施配置

電  力

五線線三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計規(guī)范》等國標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定