等離子源系統(tǒng)

頻   率

13.56MHz  射頻

功  率

0~300W可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石  英

腔體內(nèi)部尺寸

Φ250 * Dept.260（直徑*深mm)

腔體容積

12 L

處理***尺寸

8英寸

泵

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

1×105~1×10-1Pa

質(zhì)量流量計(jì)

＜±1% FS

氣路控制

4路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

極限真空

5Pa

流量范圍

0-500SCCM（可調(diào)）

工藝氣體

Ar、N?、O?、H?等等（可選）

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

750*450*500(寬*高*深）

重    量

55KG

設(shè)施配置

電    力

單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。