等離子源系統(tǒng)

頻  率

40KHz  中頻

功  率

0-300W （連續(xù)可調(diào)，精度為1°C）

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

316L不銹鋼

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

D100*270（直徑*深度)

腔體容積

2 L

密封性

級(jí)焊接密封

泵

真空泵

油泵

處理溫度

＜60°C

流量計(jì)

0-500ml/min

氣路控制

2路處理氣體氣路，氣體流量可調(diào)

真空度

10Pa --100Pa

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等（可選）

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制；

2、4.3寸觸摸屏,圖形用戶界面；

3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99；

4、多級(jí)權(quán)限操作；

5、圖形化曲線圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息；

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息；

7、報(bào)警信息提示及追溯；

8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù)；

9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換；

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕；

11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖；

12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示；

13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示；

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

560*550*550 (寬高深）

重  量

50KG

設(shè)施配置

電  力

單相三線制AC220V ,50-60Hz。所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

無(wú)

其  它

提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè)，易損件備件清單.