超純水設備采用預處理、反滲透技術、混床、EDI裝置以及后級處理等方法，將水中的導電介質(zhì)幾乎去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設備。 超純水設備又稱做：超純水器，超純水機，超純水儀，超純水系統(tǒng)，實驗室超純水器等。 超純水機所生產(chǎn)的超純水電阻率一般應大于10兆歐，10兆歐以上的水才叫超純水。一般超純水出水能達到18.25兆歐。

反滲透又稱逆滲透，一種以壓力差為推動力，從溶液中分離出溶劑的膜分離操作。對膜一側的料液施加壓力，當壓力超過它的滲透壓時，溶劑會逆著自然滲透的方向作反向滲透。從而在膜的低壓側得到透過的溶劑，即滲透液；高壓側得到濃縮的溶液，即濃縮液。若用反滲透處理海水，在膜的低壓側得到淡水，在高壓側得到鹵水。 系統(tǒng)組成 預處理部分 反滲透水處理系統(tǒng)的預處理常常由石英沙過濾裝置，活性碳過濾裝置，精密過濾裝置組成，主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物，色素、異味、生化有機物，降低水的余氨值及農(nóng)藥污染等有害的物質(zhì)。如果原水中鈣鎂離子含量較高時，還需增加軟水裝置，主要目的在于保護后級的反滲透膜不受大顆粒物質(zhì)的破壞，從而延長反滲透膜的使用壽命。