◆ 聚焦離子束(FIB)微采樣裝置和聚焦離子束(FIB)微采樣方法

◆ 聚焦離子束(FIB)微柱狀制樣實(shí)例

一個(gè)微柱狀樣品，包含一個(gè)直接從半導(dǎo)體器件上準(zhǔn)確地切割下來(lái)的分析點(diǎn)。改變?nèi)肷渚劢闺x子束(FIB)的方向，把微樣品切割或加工成任意形狀。

◆ 聚焦離子束-掃描透射電子顯微鏡系統(tǒng)

新開發(fā)的半導(dǎo)體裝置評(píng)估系統(tǒng)由FB2200聚焦離子束(FIB)系統(tǒng)和HD-2700 200 kV(STEM)掃描透射電子顯微鏡構(gòu)成。從對(duì)材料缺陷(組織)的搜索到亞納米薄膜高精度結(jié)構(gòu)分析，只要幾小時(shí)即可完成。

聚焦離子束-透射電子顯微鏡(掃描透射電子顯微鏡)(FIB-TEM(STEM))的樣品桿可互換共用

◆ DRAM 觀察實(shí)例

針尖頂端的微柱狀樣品SEM像            微柱狀樣品的明場(chǎng)STEM像