◆ 1. 自動化功能

高度集成自動化功能追求高效率檢測

降低檢測中的人為操作誤差

                        4英寸自動馬達臺                                                自動更換懸臂功能

◆ 2. 可靠性

排除機械原因造成的誤差

 大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡，針對掃描器圓弧運動所產(chǎn)生的曲面，通常通過軟件校正方式獲得平面數(shù)據(jù)。但是，用軟件校正方式不能消除掃描器圓弧運動的影響，圖片上經(jīng)常發(fā)生扭曲效果。

AFM5500M搭載了新研發(fā)的水平掃描器，可實現(xiàn)不受圓弧運動影響的準確測試。

                          Sample ：Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

 高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器，在豎直伸縮的時候，會發(fā)生彎曲（crosstalk）。這是圖像在水平方向產(chǎn)生形貌誤差的直接原因。

AFM5500M中搭載的全新掃描器，在豎直方向上不會發(fā)生彎曲（crosstalk） ，可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

* 使用AFM5100N（開環(huán)控制）時

◆ 3. 融合性

親密融合其他檢測分析方式

通過SEM－AFM的共享坐標樣品臺，可實現(xiàn)在同一視野快速的觀察?分析樣品的表面形貌，結構，成分，物理特性等。

SEM-AFM在同一視野觀察實例（樣品：石墨烯/SiO2）

          The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.

上圖是AFM5500M拍攝的形狀像（AFM像）和電位像（KFM像）分別和SEM圖像疊加的應用數(shù)據(jù)。

 通過分析AFM圖像可以判斷，SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

 石墨烯層數(shù)不同導致表面電位（功函數(shù)）的反差。

 SEM圖像對比度不同，可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

今后計劃與其他顯微鏡以及分析儀器的聯(lián)用。

 AFM5500M 主機

* 參數(shù)與設備配置及放置環(huán)境相關。

AFM5500M 專用原子力顯微鏡工作站

* WINDOWS 是、美國 Microsoft Corporation 在美國及美國以外國家注冊商標。

* RealTune是日立高新科學公司在日本、美國以及歐洲的注冊商標。

選配項：SEM-AFM聯(lián)用系統(tǒng)