工

作

臺(tái)

X/Y軸軸行程

500MM*400MM

Z軸行程

有效空間245mm,調(diào)焦行程200mm，工作距離95mm

金屬臺(tái)面尺寸

700MM*600MM

玻璃臺(tái)面尺寸

530MM*430MM

傳動(dòng)型式

傳動(dòng)型：X/Y/Z軸中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口精密線(xiàn)性導(dǎo)軌和中國(guó)臺(tái)灣進(jìn)口研磨級(jí)滾珠螺桿  

測(cè)量伺服驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

三軸金屬貼片尺 分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）

測(cè)量精度：≤3UM+L/200 重復(fù)精度：≤3UM

X/Y/Z三軸中國(guó)臺(tái)灣高性能閉環(huán)伺服電機(jī)，雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

影像系統(tǒng)

攝像機(jī)：1/3″CCD 攝像機(jī)放大倍率40-230X

自動(dòng)連續(xù)變倍鏡頭：高清變倍鏡頭//連續(xù)放大倍率0.7-5.0X

光源系統(tǒng)

5環(huán)8區(qū)表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長(zhǎng)、亮度可調(diào)

儀器外形尺寸（L*W*H）

900MM*1050MM*1650MM

儀器重量

720KG