測(cè)量原理 測(cè)針接觸式

測(cè)量長(zhǎng)度 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)

測(cè)量范圍 Z 方向 50mm適用于350mm測(cè)臂；25mm適用于175mm測(cè)臂

測(cè)量系統(tǒng)（Z方向） 電感傳感器*, 高精度, 高線性度

測(cè)針?lè)直媛? Z 方向) 0.19 um /175mm測(cè)臂

系統(tǒng)分辨率（Z方向） 0.04 um

直線度誤差（X方向）: < 1um/120mm

X/Z方向定位精度 1 um

測(cè)力 1mN to 120mN

測(cè)量角度 下降角度到880, 上升角度為770

測(cè)量速度（X方向） 0.2mm/s...4mm/s

接觸速度（Z方向） 0.1mm/s to 1 mm/s

定位及返回速度（X方向） 0.2 mm/s 至 8 mm/s

定位速度(Z方向) 0.2 mm/s 至 10 mm/s

驅(qū)動(dòng)器可調(diào)角度 +/-45°

測(cè)臂長(zhǎng)度 175 mm;350 mm

測(cè)針針尖半徑 25 um

角度測(cè)量誤差 U95<3.0min

半徑測(cè)量誤差 U95=±5 um R10mm-100mm

                      U95=±7um R100mm-1000mm

距離測(cè)量誤差 ±(2+l/50)um