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近空間升華設(shè)備-對(duì)開(kāi)式

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更新時(shí)間:2024-03-26 12:52:24瀏覽次數(shù):335

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

型號(hào):QJ-RTP1000JD用途:利用近空間升華法制備CdTe薄膜和CdS多晶薄膜規(guī)格:爐管規(guī)格Φ150*700mm

詳細(xì)介紹

該設(shè)備實(shí)在簡(jiǎn)易型近空間升華爐的基礎(chǔ)上改進(jìn)而來(lái),溫區(qū)更長(zhǎng),管徑更大,對(duì)開(kāi)式結(jié)構(gòu)溫場(chǎng)對(duì)稱性更好,散熱更快。源坩堝和襯底總成分別放置在兩個(gè)石英托架內(nèi),放置在爐膛內(nèi)部的石英管軌道上。

1. 爐膛開(kāi)門(mén)結(jié)構(gòu)分為左右兩個(gè)獨(dú)立單元,上下兩排燈管分別獨(dú)立控溫,加熱結(jié)束后爐膛均可通過(guò)按鈕控制或自動(dòng)分開(kāi)成兩半,管子暴露在室溫環(huán)境下,底部?jī)蓚€(gè)風(fēng)扇強(qiáng)制風(fēng)冷對(duì)其散熱。

2. 主爐體下方分為兩個(gè)區(qū)域,分別為電器控制部分和真空部分。電器控制部分內(nèi)有溫控電路和機(jī)械動(dòng)作控制器等。真空部分包含一臺(tái)直聯(lián)旋片式機(jī)械真空泵、數(shù)顯真空計(jì)和正壓保護(hù)電路。

3. 石英管固定通過(guò)兩端法蘭上的支撐固定架與爐體螺栓固定連接,保證管子和法蘭位置始終不變。


爐膛模式: 前后移動(dòng)開(kāi)啟式爐膛
顯示模式: 7英寸觸摸屏
加熱元件: 短紅外波燈管,上下水平面獨(dú)立加熱
工作溫度: ≤800℃
升溫速率: 10℃/s
樣品移動(dòng): 無(wú)
溫區(qū)長(zhǎng)度: 300mm(恒溫區(qū)100*100mm)
溫度均勻性: ≤±3℃
爐管規(guī)格: Φ150*700mm
控溫精度: ±1℃
密封方式: 快速法蘭密封
儀表補(bǔ)償: 室溫自動(dòng)補(bǔ)償
溫度曲線: 10段"時(shí)間—溫度曲線"任意可設(shè),預(yù)存100條工藝曲線
外殼溫度: ≤50℃(室溫≤25℃)
超溫報(bào)警: 有
過(guò)流保護(hù): 有
斷偶提示: 有
測(cè)溫元件: K型鎧裝熱電偶
爐膛材料: 氧化鋁纖維
外形尺寸: 1100*800*1300MM
整機(jī)功率: 20kw
電源參數(shù): 220V 50Hz
真空與氣氛:
抽真空能力: 大氣到≤5Pa小于5min
氣壓范圍: 10-3Pa~105Pa,機(jī)械泵極限≤5Pa
泄漏率: ≤5-4(Pa*m3/s)
真空計(jì)范圍: 大氣到10-4Pa,分辨率0.01Pa
氣路系統(tǒng):
1路進(jìn)氣口,內(nèi)有管道布?xì)?。?/td>
超壓保護(hù)(≥1atm),根據(jù)設(shè)定壓力值自動(dòng)排氣:
其它功能:
溫度數(shù)據(jù)存儲(chǔ): 可存儲(chǔ)大于3個(gè)月的數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)導(dǎo)出: U盤(pán)導(dǎo)出excel或csv格式
工藝曲線: 觸摸屏可顯示設(shè)定曲線預(yù)覽
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