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詳細(xì)介紹
該設(shè)備專為實驗室已有普通管式爐的用戶開發(fā)而成，僅需要用戶提供一下管子高度和直徑即可改造。底部配備可移動爐架，方便移動和擺放位置。等離子體發(fā)生器的電源功率有100、200、300、500、1000W等功率可選，射頻功率自動匹配，僅需一鍵操作即可啟輝。
| 射頻電源功率： | |
| 信號頻率： | 13.56 MHz±0.005% |
| 功率輸出范圍： | 5W-1000W可選 |
| 功率穩(wěn)定度： | ±0.1% |
| 整機(jī)效率： | >=70% |
| 功率因數(shù)： | >=90% |
| 冷卻方式： | 強(qiáng)制風(fēng)冷 |
| 真空部分： | |
| 功率： | 300W |
| 抽氣速率： | 2Ls |
| 極限真空： | 4X10-2Pa |
| 氣路系統(tǒng)： | |
| 3路質(zhì)量流量計可選： | |
| 準(zhǔn)確度： | ±1.5% |
| 重復(fù)精度： | ±0.2% |
| 工作壓差范圍： | 0.1～0.5 MPa |
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