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半導(dǎo)體晶片退火爐 管式加熱爐

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更新時(shí)間:2024-03-28 12:20:09瀏覽次數(shù):360

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半導(dǎo)體晶片退火爐 管式加熱爐把實(shí)驗(yàn)的氣體通入爐管中,管子的兩端由閥門(mén)密封,氣體在加熱中可以分解、化合等多種化學(xué)反應(yīng)。充氣時(shí)由閥門(mén)控制流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、壓力表等監(jiān)控。爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維板/進(jìn)口摩根纖維制作而成,節(jié)能效果是老式電爐80%以上。

詳細(xì)介紹

品牌SAITHEDA/賽熱達(dá)升溫速度(達(dá)到溫)60-150min
內(nèi)部尺寸40-200mm加熱方式電爐絲、硅碳棒、硅鉬棒
功率1-100KW控溫精度±1℃℃
溫度1200℃價(jià)格區(qū)間5千-1萬(wàn)
儀器種類(lèi)管式爐產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域建材,電子,航天,汽車(chē),電氣

半導(dǎo)體晶片退火爐 管式加熱爐把實(shí)驗(yàn)的氣體通入爐管中,管子的兩端由閥門(mén)密封,氣體在加熱中可以分解、化合等多種化學(xué)反應(yīng)。充氣時(shí)由閥門(mén)控制流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、壓力表等監(jiān)控。

爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維板/進(jìn)口摩根纖維制作而成,節(jié)能效果是老式電爐80%以上。(微電腦控制)可編程,全自動(dòng)升溫,控溫精度±1℃ 爐管內(nèi)部可以抽成真空,實(shí)現(xiàn)高溫真空燒結(jié)。也*可以充以不同的氣體,加以氣氛保護(hù)。充氣時(shí)由閥門(mén)控制流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、壓力表等

半導(dǎo)體晶片退火爐 管式加熱爐技術(shù)參數(shù)

溫度

項(xiàng)目

1000度、1200度、1400度、1600度、1700度、1800度、

電壓V

380

型號(hào)

SRD-1700GSL

設(shè)計(jì)溫度

1000度、1200度 、1400度、1600度、1700度、1800度

可長(zhǎng)期使用溫度

950度、1150度、1350度、1550度、1650度、1750度

控溫精度

±1度(集成化電路控制,無(wú)*調(diào)現(xiàn)象)

控制范圍為

50至1800度

測(cè)溫元件

熱電偶分度號(hào):K,測(cè)溫范圍0-13850度;S,測(cè)溫范圍0-1450度;B,測(cè)溫范圍0-1850度

發(fā)熱元件裝位置

平行/垂直安裝于爐膛兩側(cè)

爐溫均勻性

±1度(根據(jù)爐膛尺寸大小而定,大型爐膛可采用多點(diǎn)控溫)

爐管材質(zhì)

石英管/不銹鋼管/剛玉管

控制

微電腦程序控制功能,可以輸入設(shè)定:可同時(shí)輸入多條曲線(xiàn),使用時(shí)可任意調(diào)用

發(fā)熱元件

硅碳棒/硅鉬棒

升溫速率

升溫速率可自由調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)范圍:升溫速率每分鐘40度(40度/min)、慢升溫速率每小時(shí)1度(1度/h)

耐火材料

高純氧化鋁纖維/進(jìn)口摩根纖維

冷卻結(jié)構(gòu)

雙層爐殼,風(fēng)冷;爐體溫度≤45度

計(jì)算機(jī)接口(選配)

RS485/RS232/USB

保修范圍及期限

電爐*保修壹年,發(fā)熱元件、爐管、熱電偶不保修(發(fā)熱元件三個(gè)月內(nèi)自然損壞*更換)

隨機(jī)備件

發(fā)熱元件兩支、棒具兩套,說(shuō)明書(shū)一份,合格證一份,高溫手套一副,密封圈兩個(gè)。













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