一、用途與特點

質(zhì)量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

二、工作原理

CF系列氣體質(zhì)量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

產(chǎn)品詳情介紹

? 主要技術(shù)指標

注意：

質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定.

質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)

標準狀態(tài)規(guī)定為： 溫度-----273.15K (0℃);

氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）

F.S (Full Scale); 滿量程值

? 外型尺寸