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詳細(xì)介紹
射頻真空等離子清洗機(jī)產(chǎn)品介紹：
1、獨(dú)立數(shù)顯射頻電源
2、強(qiáng)力去除光刻膠有機(jī)污染物
3、腔體內(nèi)部接近常溫
4、科研改性
5、媒粉灰化處理
技術(shù)參數(shù)：
1、獨(dú)立數(shù)顯射頻電源
2、強(qiáng)力去除光刻膠有機(jī)污染物
3、腔體內(nèi)部接近常溫
4、科研改性
5、媒粉灰化處理
技術(shù)參數(shù)：
| 型號(hào) | PT-2ST | PT-5ST | PT-10ST | PT-15ST |
| 腔體材質(zhì) | 316不銹部表面處理 | |||
| 腔體尺寸 | Φ100x270L | Φ150x270Lmm | 220x260x200mm L*W*H | 320x260x200mm |
| 腔體容量 | 2L | 5L | 10L | 15L |
| 外形尺寸 | 560x540x550mm L*W*H | 560x540x550mm L*W*H | 650x550x580mm L*W*H | 650x550x650mm L*W*H |
| 電源頻率 | 13.56MHZ | |||
| 電源功率 | 0-200W(手動(dòng)匹配) | 0-300W(自動(dòng)匹配) | 0-500W(自動(dòng)匹配) | |
| 流量計(jì) | 高精密2路浮子流量計(jì) | |||
| 真空計(jì) | 壓力表(量化值顯示) | |||
| 控制過(guò)程 | 全自動(dòng)控制與手動(dòng)(PLC人機(jī)界面) | |||
| 清洗時(shí)間 | 0-99999S可調(diào) | |||
| 真空度 | 1-30pa | |||
| 腔體溫度 | <30℃ | |||
| 供電電壓 | 220V | |||
| 真空泵 | 2XZ-2(抽速2L/S) | 2XZ-4(抽速4L/S) | ||
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