詳細(xì)介紹
INFICON(英??担┱婵找?guī)/真空計(jì)
B-A 型皮拉尼電容膜片真空計(jì)
TripleGauge® BCG450
INFICON B – A 型皮拉尼電容薄膜真空計(jì),BCG450,將三種不同的真空計(jì)
組合在一個(gè)小型,經(jīng)濟(jì)的真空規(guī)管中,測(cè)量過程壓強(qiáng)和基本壓強(qiáng) 5 x 10-10
** 1500 毫巴 (3.75 x 10-10 ** 1125 乇). BCG450 用于取代三種傳感器
(熱離子,對(duì)流增強(qiáng)型皮拉尼和真空開關(guān)),從而節(jié)省成本和寶貴的工具空間.
優(yōu)勢(shì)
■ BCG450 節(jié)省成本和設(shè)備空間,降低真空測(cè)量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
■ 10 乇以上的與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)測(cè)量,對(duì)許多混合氣體提供****的 自鎖控制
■ 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱燈絲,防止過早燒毀
■ 自動(dòng)的高真空和**壓皮拉尼調(diào)整,無需操作人員干預(yù)
■ 相對(duì)于**壓的差壓測(cè)量,免除了與**壓變化有關(guān)的不穩(wěn)定性
■ 傳感元件容易**換,內(nèi)置校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證數(shù)據(jù)的再現(xiàn)性
■ 可選圖形顯示器和 Fieldbus 接口
用途
■ 半導(dǎo)體工藝,傳送和自鎖室的壓強(qiáng)測(cè)量
■ 工業(yè)鍍膜
■ 低****高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制
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