INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個(gè)小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測(cè)量壓強(qiáng)從210-6**1000毫巴(1.510-6**750乇)。HPG400提供**的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測(cè)量，用于**的濺射過(guò)程的壓強(qiáng)控制。

INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個(gè)小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中，測(cè)量壓強(qiáng)從2×10-6**1000毫巴(1.5×10-6**750乇)。HPG400提供**的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測(cè)量，用于**的濺射過(guò)程的壓強(qiáng)控制。

用戶(hù)**性
◆  HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測(cè)量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
◆  高壓強(qiáng)熱電離真空計(jì)1×10-5毫巴為要求高的過(guò)車(chē)工控制提供**、**的壓強(qiáng)測(cè)量
◆  用戶(hù)可選的熱電離發(fā)射在5×10-2**1毫巴之間起始工作
◆  皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過(guò)早燒毀
◆  高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)
◆  備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

 

典型應(yīng)用  
◆  半導(dǎo)體制作中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)
◆  工業(yè)鍍膜
◆  在低****高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測(cè)量和控制

 

訂購(gòu)資料

 

型號(hào)	HPG400 Without LCD display	HPG400 With LCD display	HPG400-SP With Profibus DP1）	HPG400-SD With DeviceNet1）
DN 25ISO-KF	353-520	353-521	353-525	353-527
DN 40CF-R	353-522	353-523	353-526	353-528
**換傳感器25ISO-KF	354-487	354-487	354-487	354-487
**換傳感器40CF-R	354-488	354-488	354-488	354-488

1）不帶液晶顯示器

附件               

電源24VDC/RS232C線

353-511

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