高載重同步輻射高精度位移平臺(tái)

納米位移臺(tái)在提供精度位移控制的同時(shí)，保證了優(yōu)異而的穩(wěn)定性能，適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中，負(fù)載可達(dá)幾公斤，行程達(dá)到50mm，小步長(zhǎng)50nm，配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm，提供多維度位移功能。

 高載重同步輻射高精度位移平臺(tái)

適用于超高真空環(huán)境中多維度納米精度位移功能，負(fù)載可達(dá)幾公斤，行程達(dá)到50mm，小步長(zhǎng)50nm，配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm#適用于室溫、大氣到超高真空環(huán)境中，負(fù)載可達(dá)幾公斤，行程達(dá)到50mm，小步長(zhǎng)50nm，配備的光學(xué)位移傳感器可將位移精度控制到10nm，提供多維度位移功能；

+  在厘米級(jí)的行程范圍內(nèi)，達(dá)到納米級(jí)高精度位移控制

+  的機(jī)械穩(wěn)定性

+  位移驅(qū)動(dòng)電壓<45V，無(wú)需高壓屏蔽

+  10nm位移精度，+/-200nm位移重復(fù)性，<0.01% 精度

+  特殊材質(zhì)，兼容各種光學(xué)實(shí)驗(yàn)環(huán)境和超高真空環(huán)境

+  快速樣品更換裝置