詳細(xì)介紹
配置與優(yōu)勢:
樣品尺寸可達(dá): 470 x 370 mm2
Mask機(jī)械定位/CCD相機(jī)定位,精度可達(dá):土5 μm
有機(jī)物源(金屬,陶瓷,石墨,PBN等)
自動(dòng)速率控制精度: 0.01 A/s
源爐溫度控制精度:土0.1 °C
支持多源爐順序蒸發(fā)和共蒸發(fā)
獨(dú)立全自動(dòng)擋板控制
鍍膜均勻性優(yōu)于士3%
選配:
手套箱集成
PEALD集成
應(yīng)用領(lǐng)域:
OLEDs
有機(jī)太陽能電池
制藥網(wǎng)

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