等離子廢氣處理設備又稱廢氣凈化器。

本工藝在電催化總的設計概念下，分三個即獨立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、極板激發(fā)區(qū)。每個激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

等離子廢氣處理設備采用了   的吸附-分解-碳化 離心式抽風安裝新工藝技術設計,采用標準模塊設計等優(yōu)點,是一種干法處理廢氣的凈化設備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術,無需   處理原料,無需專人負責,不產生二次污染,   換及維護保養(yǎng)方便。

低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質第四態(tài)，當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態(tài)，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些   電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應以達到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業(yè)廢氣處理新的一種原理。