影像測(cè)量?jī)x

型號(hào)

行程（mm）

外部尺寸（mm）

重量（kg）

承重（kg）

CNC3020

200×300×180

480×780×900

180

25

測(cè)量精度

XY軸*

Z軸

（3+L/200）µm

（5.0+L/200）µm

*L表示測(cè)量長(zhǎng)度，以毫米為單位

Z軸的機(jī)械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關(guān)系

速度

XY軸

Z軸

280mm/s

100mm/s

工作環(huán)境

溫度：20℃±2℃

溫度變化 lt;2℃/hr

濕度：30～80%

振動(dòng)：＜0.002g，＜15Hz

電源：200~240Vac，50/60Hz，單相single-phase，700W