Z 方向掃描范圍

10μm（典型值）， 9.5μm（最小值）

縱向噪音水平

<50pm rms="" 值（在合適的環(huán)境，典型的成像帶寬條件下="" (="" 可達(dá)="">

XY 方向閉環(huán)噪音水平

<0.15nm rms="" 值（在典型的成像帶寬條件下="" (="" 可達(dá)="">

XYZ 三方向的非線性

<>

樣品尺寸和固定方式

150mm 直徑，真空吸附，15mm 厚 ;

可選擇墊塊的情況下，可達(dá) 40mm 厚

馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái) (X-Y 軸 )

150mm x 150mm 可觀測(cè)區(qū)域； 可真空吸附， 可編程進(jìn)行多區(qū)域掃描，可 360 旋轉(zhuǎn)

光學(xué)系統(tǒng)及下針機(jī)制

5 百萬(wàn)像素?cái)?shù)字?jǐn)z像頭；

180μm 至 1465μm 可視區(qū)域 ;

數(shù)字化縮放，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)聚焦 ，單軸垂直下針，軟件自動(dòng)控制

信號(hào)輸入輸出

控制器內(nèi)置可配置的信號(hào)輸入 / 輸出 ;

包括可定制的信號(hào)輸入輸出，數(shù)字化反饋和雙數(shù)字化鎖相放大器

單點(diǎn)譜線

三軸閉環(huán)控制可實(shí)現(xiàn) point-and-shoot 式定位和譜線測(cè)量 ; 內(nèi)置了熱調(diào)諧方式的彈性常數(shù)校準(zhǔn)功能 ;

溫度控制

可選 -35 至 +250℃加熱 / 冷卻附件； 包括氣體充換功能；