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詳細(xì)介紹
渦輪分子泵組MLT-PT90系列是米立特公司新型的組合式分子泵，能產(chǎn)生5×10-8mbar以上的真空度，同時(shí)具有使用簡(jiǎn)單可靠的特點(diǎn)，被各地的用戶廣泛使用。它的主要特點(diǎn)如下：
• 前泵與分子泵合為一體，不需要再另接前泵。
• 前泵采用干式運(yùn)行的隔膜泵，使整套設(shè)備免維護(hù)，干式運(yùn)行，體積小，重量輕。
• 自動(dòng)測(cè)量前泵產(chǎn)生的真空壓力并自動(dòng)啟動(dòng)分子泵，不需要附加裝置和人為控制，前泵與分子泵的配合自動(dòng)化。
• 配有給容器充氣的充氣開關(guān)。
• 當(dāng)達(dá)到一定的真空壓力后，可選擇自動(dòng)關(guān)閉前泵，以節(jié)省電源，增加設(shè)備的使用壽命。
• 采用自動(dòng)空氣冷卻。
• 結(jié)構(gòu)特別緊湊，性能可靠。
• 操作特別簡(jiǎn)單，只用一個(gè)總開關(guān)便可開關(guān)渦輪分子泵組。
技術(shù)參數(shù)：| Description | MLT-PT90i/DIVAC 3.0 | MLT-PT90i/Ecodry 25 plus |
| Turbomolecular pump | TURBOVAC 90i | TURBOVAC 90i |
| Fore vacuum pump(Dry) | DIVAC3.0 | Ecodry 25 plus |
| High vacuum connection | DN 63 ISO-K/CF | DN 63 ISO-K/CF |
| Turbopump Operating speed | 7200rpm | 7200rpm |
| Pumping speed for N2/H2 | 90I/s / 78I/s | 90I/s / 78I/s |
| UItimate pressure | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar | 63 ISO-K:<8×10-8mbar 63CF:<5×10-10mbar |
| Fore pumping speed | 3.0 m³/h | 25 m³/h |
| Mains supply | 230±10% V | 230±10% V |
| Number of gauges,max. | 2 | 2 |
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