德國(guó)ASC傳感器總覽

1. ACCELEROMETERS (線加速度傳感器) 2. GYROS（角速度傳感器） 3. INERTIAL MEASUREMENT UNIT （慣性測(cè)量單元）

一、線加速度傳感器（Accelerometers）

【A. MEMS電容型(Capactie )  B. MEMS壓阻型(Pizoresistie)  C. 壓電型（Pizoelectric:IEPE集成了放大器和電荷電/壓轉(zhuǎn)換器】

MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)微機(jī)電系統(tǒng)，是在微電子技術(shù)（半導(dǎo)體制造技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的，融合了、、、、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。

系統(tǒng)特點(diǎn)：

1微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應(yīng)時(shí)間短。

2以硅為主要材料，機(jī)械電器性能優(yōu)良：硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度類似鋁，熱傳導(dǎo)率接近鉬和鎢。

3批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在一片硅片上可同時(shí)制造成百上千個(gè)微型機(jī)電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。

4集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動(dòng)方向的多個(gè)傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復(fù)雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。

5多學(xué)科交叉：MEMS涉及電子、機(jī)械、材料、制造、信息與自動(dòng)控制、物理、化學(xué)和生物等多種學(xué)科，并集約了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的許多成果

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